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1200℃三溫區型管式爐

發布時間:2017-11-15  瀏覽次數:2369

 

設備簡介:

為滿足各類CVD工藝的要求,我們將多個溫區的控制儀表全部融合到了智能控制系統里邊,您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數設定。在滿足不同溫區梯度控制的同時,還可將多個溫區設定為同一溫度點,作為加長的單溫區使用。它延續了開啟式管式爐的經典設計,美觀與實用同在!





  

 

 

 

 

 


  

   配置詳情

1. 雙層鋼結構;

2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節約能源;

3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命;

4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度。

產品型號

NBD-O1200-50IIIT

NBD-O1200-60IIIT

NBD-O1200-80IIIT

NBD-O1200-100IIIT

電氣規格

AC380V    2KW+4KW+2KW

最高溫度

1200 ℃ (<1小時)

連續溫度

1100 ℃ (連續)

最高加熱速率

≤  20 ℃/分鐘

加熱區長度

200mm+400mm+200mm(三溫三控:每個溫區均可獨立運行)

爐管尺寸

Φ50*1400mm

Φ60*1400mm

Φ80*1400mm

Φ100*1400mm

控制系統

 

1.可預存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩;

2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷;

3.可另選配無線控制模塊,實現遠程操控;

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

 

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統

 

 

 

真空度:≤10Pa(機械泵)

壓力測量與監控

 

采用帶有減震油的機械壓力表,使壓力波動時產生阻尼,減小指針來回擺動。

供氣系統

 

采用浮子流量計控制氣體流速,與設備一體化,方便控制,且出廠前已進行漏氣測試工作。

凈重

90KG

設備使用注意事項

1. 設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;

2. 設備使用時,爐管內壓力不得超過0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞;

3. 真空下使用時,設備使用溫度不得超過800℃。

服務支持

1年質保,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等) 


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